上海方策机电设备有限公司

FUJIKIN New Mega系列高纯膜片阀

产品简介:

应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业.

应用流体:设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.

工作压力:低压(1MPa),高压(16.2MPa)

工作温度: -10℃-80℃

动作方式:手动和气动

气动阀有常开和常闭两种初始状态可选

连接方式:焊接、卡套、VCR等连接方式

表面处理:EP(标准)，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可选):5Ra,Ry＜0.7um.

接口尺寸:1/4”-3/4”

适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。

该阀利用直接式隔膜结构，达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片阀基础上实现了小型化。

口径：1/4”～1/2”最高使用压力可达20.5Mpa 材质：SUS316L EP级处理

FPR-NSD-721-6.35-316LP

FPR-NSD-721-6.35-2-316LP

FPR-NSDTB-721-6.35-2-316LP

FPR-NSD-521-6.35BW-316LP-AWE

FPR-NSD-721-6.35UG

FPR-NSD-721-6.35UG-2

FPR-NSD-721-3.2UG

FPR-NSD-721-3.2UG-2